摘要：单频激光干涉仪具有信号处理过程简单、易于集成、系统结构简单等特点。基于迈克尔逊干涉基本原理和海德曼椭圆拟合修正方法，提出了一种新型的非线性误差计算方法，设计了对位移非线性误差进行检测和分析的系统。该系统可以分离测量系统的非线性误差，并在改变测量条件时精确观察非线性误差的变化情况，为测量系统非线性误差的补偿提供借鉴。

关键词：干涉测量；位移计算；非线性误差；误差分析

中图分类号：TG88；TH711文献标志码：ADOI：10.3969/j.issn.1000-7008.2021.11.022