摘要：通过环形金刚石线锯开方单晶硅棒试验，分析了影响环形金刚线锯切割能力的因素及其切割硅棒的能力和切割失效机理，结果表明：相同跑线方式下，相比于冷却水流量10L/min工况下，在20L/min时更有利于维持环形金刚石线锯切割能力；在张力100N、线速度30m/s、进刀速度20mm/min的工况下，环形金刚石线锯总开方深度为2635mm，其失效形式主要为磨粒磨损与镀层磨损。在金刚线切割过程中，受张力以及切割时硅棒的反作用力影响，易导致金刚石磨粒和镀层开裂、磨粒脱落；同时，因导轮处反复折弯换向，钢线出现松散，最终引起环形金刚石线锯韧性断裂；随着切割深度的增加，环形金刚线锯开方后的硅棒表面粗糙度呈现先降后升的趋势，但变化幅度不大，表面粗糙度的数值均小于1μm，表面质量良好。

关键词：环形金刚石线锯；单晶硅；切割失效机理；冷却；表面粗糙度

中图分类号：TG580.61文献标志码：ADOI：10.3969/j.issn.1000-7008.2021.06.018