四极杆质量分析器的杆系位置度检测方法研究
2019-11-15
作者：蒋家东，刘兴宝
单位：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
摘要：四极杆质量分析器是四极质谱仪的核心部件之一，主要由四根圆柱极杆组成，四根极杆之间的相互位置决定其物理性能，其位置度检测十分关键。由于极杆较长，且四极杆质量分析器中无基准平面，常用的位置度检测方法不适合该位置度检测及评定。通过测量不同轴截面处相邻极杆距离、相对极杆距离，根据测量数据进行位置度评价的方法适合四极杆质量分析器的杆系位置度评价，也适合类似杆系的位置度检测。
关键词：圆柱极杆；四极杆质量分析器；位置度
中图分类号：TG806；TH84文献标志码：ADOI：10.3969/j.issn.1000-7008.2019.11.028
Position Measurement Method of Quadrupole Mass Filter
Jiang Jiadong，Liu Xingbao
Abstract:The quadrupole mass filter is one of the most important part in mass spectrometry(MS) used in the analysis area，which is mainly made by four cyclinder poles.The position tolerance of cyclinder poles show important effect on the function of quadrupole mass filter.The length of poles are long，and there is no datum plane for measure，common way of measuring posion is not fit for such situation.
Keywords:cylinder pole；quadrupole mass filter；position accuracy