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  2019-06

  内循环式非牛顿流体抛光单晶硅的仿真与试验研究 作者：刘笑1，2，姚鹏1，2，薛栋林1，2，邓伟杰3，4 单位：1山东大学机械工程学院；2高效洁净机械制造教育部重点实验室3中科院长春光学精密机械与物理研究所；4中科院光学系统先进制造技术重点实验室